第三屆半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品與電子氣體論壇日前在海南三亞舉辦，多氟多(002407.SZ)相關(guān)人士在會(huì)上透露，公司高端產(chǎn)品G5級(jí)電子級(jí)氫氟酸通過晶圓制造全球巨頭驗(yàn)證后，將在今年下半年正式投產(chǎn)萬噸級(jí)擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目。業(yè)內(nèi)人士透露，目前全球市面上最高的電子化學(xué)品等級(jí)是G5級(jí)。而晶圓制造領(lǐng)域，只能用G5級(jí)產(chǎn)品，中國(guó)電子級(jí)氟材料有望走向全球。

電子級(jí)氫氟酸是高純濕電子化學(xué)品當(dāng)中的一種，主要用于清潔、去除氧化物，在半導(dǎo)體、太陽能光伏板和液晶面板制造過程當(dāng)中被大量使用。電子級(jí)氫氟酸作為微電子行業(yè)制造的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用，廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器、半導(dǎo)體等微電子工業(yè)等方面，主要用于芯片的清洗和腐蝕，還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。它的純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。

目前，電子級(jí)氫氟酸主要運(yùn)用在集成電路、太陽能光伏和液晶顯示屏等領(lǐng)域，其中第一大應(yīng)用市場(chǎng)是集成電路領(lǐng)域，約占電子級(jí)氫氟酸總消耗量的47.3%;其次是太陽能光伏領(lǐng)域，占比22.1%;再次是液晶顯示器領(lǐng)域，占18.3%。

在半導(dǎo)體制造過程中，電子級(jí)氫氟酸主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程的清洗和腐蝕等。資料顯示，在半導(dǎo)體制程中，有50多個(gè)環(huán)節(jié)需要使用高純度電子氟化氫，足見其重要性。不過，相對(duì)于其他領(lǐng)域的應(yīng)用來說，半導(dǎo)體制造對(duì)于電子級(jí)氫氟酸的品質(zhì)和純度要求也更高。

根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織(SEMI)成立的 SEMI 化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)，對(duì)世界濕電子化學(xué)品的等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)劃分來看，主要?jiǎng)澐譃?SEMI G1 至 SEMI G5級(jí)。

在各應(yīng)用領(lǐng)域的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)有所不同，光伏一般只需要 G1 級(jí)水平;顯示面板和 LED 對(duì)濕電子化學(xué)品的等級(jí)要求一般為 G2、G3 水平;半導(dǎo)體制造對(duì)濕電子化學(xué)品的純度要求較高，基本集中在 G3以上水平，晶圓尺寸越大對(duì)純度要求越高，12 英寸晶圓制造一般要求 G4 以上，即G5級(jí);分立器件對(duì)濕電子化學(xué)品純度的要求低于芯片制造，基本集中在 G2級(jí)。

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，我國(guó)電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)廠家有11家左右，但是能夠達(dá)到半導(dǎo)體所用G4級(jí)及以上的企業(yè)僅多氟多、中巨芯(原巨化股份)、濱化股份、興發(fā)集團(tuán)四家左右。而能夠供應(yīng)12英寸晶圓使用需求的超凈高純電子級(jí)氫氟酸，即G5級(jí)別(UP-SSS)電子級(jí)氫氟酸的，目前似乎只有多氟多一家。

據(jù)多氟多董事長(zhǎng)李世江介紹說，多氟多在超凈高純電子化學(xué)品的研發(fā)生產(chǎn)過程中，突破了工藝技術(shù)、分析檢測(cè)技術(shù)、超凈化處理技術(shù)、包裝容器的清洗技術(shù)及標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，所生產(chǎn)的電子級(jí)氫氟酸品質(zhì)達(dá)到UP-SSS級(jí)(G5級(jí)別)，產(chǎn)品純度達(dá)到PPT級(jí)，是目前半導(dǎo)體用電子級(jí)氫氟酸的最高級(jí)別，能夠滿足目前最先進(jìn)工藝制程對(duì)材料的要求，處于國(guó)際一流水平。

產(chǎn)能方面，目前全球電子級(jí)氫氟酸年產(chǎn)能約35萬噸左右。其中國(guó)內(nèi)電子級(jí)氫氟酸年產(chǎn)能24萬噸，臺(tái)灣地區(qū)電子級(jí)氫氟酸年產(chǎn)能3萬噸左右，日本電子級(jí)氫氟酸年產(chǎn)能6萬噸左右，歐美地區(qū)電子級(jí)氫氟酸年產(chǎn)能1.5萬噸左右。

目前我國(guó)氟化工相關(guān)企業(yè)約1000家，氟化工基礎(chǔ)及通用產(chǎn)品產(chǎn)量占全球的55%以上，現(xiàn)已成為世界最大的氟化工產(chǎn)品生產(chǎn)國(guó)及消費(fèi)國(guó)。

近年來，隨著中國(guó)微電子工業(yè)的高速發(fā)展，中國(guó)大陸逐步成為全球較大的液晶顯示器(LCD)產(chǎn)業(yè)基地，用于集成電路(IC)、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)和半導(dǎo)體等清洗和蝕刻劑的電子化學(xué)品的需求越來越大，國(guó)內(nèi)優(yōu)勢(shì)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力正在不斷增強(qiáng)，長(zhǎng)期成長(zhǎng)空間巨大。

相關(guān)概念股：

多氟多(002407.SZ)：目前在河南的電子級(jí)氫氟酸工廠年產(chǎn)能為5萬噸(含IC級(jí)1萬噸)。另外，在多氟多2021年定增11.5億元募投項(xiàng)目中顯示，多氟多正在建設(shè)年產(chǎn)3萬噸超凈高純電子級(jí)氫氟酸、年產(chǎn)3萬噸超凈高純濕電子化學(xué)品、100噸高純乙硅烷、100噸高純氟氮混合氣、300噸高純四氟化硅等項(xiàng)目。

三美股份(603379.SH)：目前公司生產(chǎn)氫氟酸的基地為 3 處，具體為浙江武義、福建清流、江蘇如東，產(chǎn)能分別為 3.1 萬噸、5 萬噸和 5 萬噸。

興發(fā)集團(tuán)(600141.SH)：興力公司主營(yíng)產(chǎn)品包括電子級(jí)氫氟酸，目前在建3萬噸/年電子級(jí)氫氟酸(G5等級(jí))產(chǎn)能，其中一期1.5萬噸/年產(chǎn)能預(yù)計(jì)21年3月投產(chǎn)，公司持有興力公司30%股權(quán)。湖北甕福主營(yíng)產(chǎn)品為無水氟化氫，目前擁有2萬噸/年產(chǎn)能。

標(biāo)簽： 中國(guó)電子級(jí)氟材料 電子化學(xué)品 晶圓制造領(lǐng)域 集成電路