第三屆半導體濕電子化學品與電子氣體論壇日前在海南三亞舉辦，多氟多(002407.SZ)相關人士在會上透露，公司高端產品G5級電子級氫氟酸通過晶圓制造全球巨頭驗證后，將在今年下半年正式投產萬噸級擴產項目。業內人士透露，目前全球市面上最高的電子化學品等級是G5級。而晶圓制造領域，只能用G5級產品，中國電子級氟材料有望走向全球。

電子級氫氟酸是高純濕電子化學品當中的一種，主要用于清潔、去除氧化物，在半導體、太陽能光伏板和液晶面板制造過程當中被大量使用。電子級氫氟酸作為微電子行業制造的關鍵性基礎化工材料之一，可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用，廣泛應用于大規模集成電路、薄膜液晶顯示器、半導體等微電子工業等方面，主要用于芯片的清洗和腐蝕，還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。

目前，電子級氫氟酸主要運用在集成電路、太陽能光伏和液晶顯示屏等領域，其中第一大應用市場是集成電路領域，約占電子級氫氟酸總消耗量的47.3%;其次是太陽能光伏領域，占比22.1%;再次是液晶顯示器領域，占18.3%。

在半導體制造過程中，電子級氫氟酸主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程的清洗和腐蝕等。資料顯示，在半導體制程中，有50多個環節需要使用高純度電子氟化氫，足見其重要性。不過，相對于其他領域的應用來說，半導體制造對于電子級氫氟酸的品質和純度要求也更高。

根據國際半導體設備與材料組織(SEMI)成立的 SEMI 化學試劑標準委員會，對世界濕電子化學品的等級的標準劃分來看，主要劃分為 SEMI G1 至 SEMI G5級。

在各應用領域的產品標準有所不同，光伏一般只需要 G1 級水平;顯示面板和 LED 對濕電子化學品的等級要求一般為 G2、G3 水平;半導體制造對濕電子化學品的純度要求較高，基本集中在 G3以上水平，晶圓尺寸越大對純度要求越高，12 英寸晶圓制造一般要求 G4 以上，即G5級;分立器件對濕電子化學品純度的要求低于芯片制造，基本集中在 G2級。

據不完全統計，我國電子級氫氟酸生產廠家有11家左右，但是能夠達到半導體所用G4級及以上的企業僅多氟多、中巨芯(原巨化股份)、濱化股份、興發集團四家左右。而能夠供應12英寸晶圓使用需求的超凈高純電子級氫氟酸，即G5級別(UP-SSS)電子級氫氟酸的，目前似乎只有多氟多一家。

據多氟多董事長李世江介紹說，多氟多在超凈高純電子化學品的研發生產過程中，突破了工藝技術、分析檢測技術、超凈化處理技術、包裝容器的清洗技術及標準化技術等關鍵技術，所生產的電子級氫氟酸品質達到UP-SSS級(G5級別)，產品純度達到PPT級，是目前半導體用電子級氫氟酸的最高級別，能夠滿足目前最先進工藝制程對材料的要求，處于國際一流水平。

產能方面，目前全球電子級氫氟酸年產能約35萬噸左右。其中國內電子級氫氟酸年產能24萬噸，臺灣地區電子級氫氟酸年產能3萬噸左右，日本電子級氫氟酸年產能6萬噸左右，歐美地區電子級氫氟酸年產能1.5萬噸左右。

目前我國氟化工相關企業約1000家，氟化工基礎及通用產品產量占全球的55%以上，現已成為世界最大的氟化工產品生產國及消費國。

近年來，隨著中國微電子工業的高速發展，中國大陸逐步成為全球較大的液晶顯示器(LCD)產業基地，用于集成電路(IC)、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)和半導體等清洗和蝕刻劑的電子化學品的需求越來越大，國內優勢企業的競爭力正在不斷增強，長期成長空間巨大。

相關概念股：

多氟多(002407.SZ)：目前在河南的電子級氫氟酸工廠年產能為5萬噸(含IC級1萬噸)。另外，在多氟多2021年定增11.5億元募投項目中顯示，多氟多正在建設年產3萬噸超凈高純電子級氫氟酸、年產3萬噸超凈高純濕電子化學品、100噸高純乙硅烷、100噸高純氟氮混合氣、300噸高純四氟化硅等項目。

三美股份(603379.SH)：目前公司生產氫氟酸的基地為 3 處，具體為浙江武義、福建清流、江蘇如東，產能分別為 3.1 萬噸、5 萬噸和 5 萬噸。

興發集團(600141.SH)：興力公司主營產品包括電子級氫氟酸，目前在建3萬噸/年電子級氫氟酸(G5等級)產能，其中一期1.5萬噸/年產能預計21年3月投產，公司持有興力公司30%股權。湖北甕福主營產品為無水氟化氫，目前擁有2萬噸/年產能。

標簽： 中國電子級氟材料 電子化學品 晶圓制造領域 集成電路