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試驗317次實現技術突破

    來源:新華日報   2018-06-07 17:43:54

  經過一系列嚴格驗證、檢測,位于徐州的鑫華半導體材料科技公司生產的集成電路用高純度硅料小批量出口韓國,并已向國內部分晶圓加工廠批量供貨。這標志著鑫華半導體集成電路用硅料達到國際一流質量標準,這是我國多晶硅制造企業首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。

  去年11月,鑫華半導體正式發布自主生產的電子級多晶硅產品,突破海外多年技術封鎖,填補國家集成電路產業專項空白。

  集成電路用高純硅料項目是工信部強基工程中標項目、科技部02專項子項目。經層層測試下來,眾多廠家反饋,完全達到國際一流電子級多晶硅各項指標。研發過程中,鑫華半導體技術團隊歷經317次生產試驗,對629項技術、設備優化改進,以70%的國產設備實現重大突破。鑫華半導體首條生產線產能為5000噸,產品向市場鋪開后,可保證國內企業3-5年內電子級多晶硅不會缺貨。未來兩三年內,還計劃再上一條5000噸生產線。

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